Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Inschrijven op deze aanbesteding is niet meer mogelijk
Details
Publicatie
Documenten
Vraag en antwoord
Omschrijving
TNO heeft een EUV onderzoeksopstelling genaamd EBL1, die voornamelijk wordt gebruikt voor het onderzoeken van de effecten op oppervlakken als gevolg van EUV-straling in verschillende vacuümomstandigheden. Voor analyse van deze oppervlakken is EBL1 in vacuo verbonden met een XPS-systeem. Na 15 jaar gebruik moet de huidige X-ray Photoelectron Spectrometer (XPS) worden vervangen